窒化ケイ素の種類

窒化ケイ素の種類
材料特性は製造方法に大きく依存するため、窒化シリコンを単一の材料として考えることはできません。窒化ケイ素の主なタイプは次の 3 つです。

反応結合窒化ケイ素 (RBSN)
ホットプレス窒化ケイ素 (HPSN)
窒化ケイ素焼結体（SSN）
反応結合窒化ケイ素は、圧縮されたケイ素粉末を直接窒化することによって作られますが、完全な反応を確保することが難しいため、高い成分密度を達成するのは困難です。通常の密度は 2300 ～ 2700kg.m-3 の範囲ですが、ホットプレスおよび焼結された窒化ケイ素の密度は 3200kg.m-3 です。高密度により HPSN および SSN 材料の物理的特性が向上し、より要求の厳しい用途で使用されることになります。窒化によって生じる体積変化はわずかです。これは、RBSN コンポーネントを製造後に機械加工する必要がなく、複雑なニアネット形状を 1 つのプロセス段階で製造できることを意味します。